中古 EATON XL622B #9180693 を販売中

EATON XL622Bは、多種多様な単結晶半導体基板のウェハレベルのフォトレジストコーティング用に設計された高性能、高精度フォトレジスト装置です。システムは、制御された環境で精度と再現性を提供するために構築されています。XL622Bは、液体レベルのモニタリングユニットを使用して、ユーザーが再現可能な結果を持つ高品質のコーティングを得るのを支援します。この機械には、蒸気分散器、液面モニター、抵抗加熱ブロック、および抵抗測定装置が含まれています。これらのコンポーネントが連携して、基板全体にわたるフォトレジストの均一で一貫した再現性のあるコーティング厚さとパターンを作成します。蒸気分散器は、フォトレジスト蒸気の正確で応答性の高い流れを基板に供給します。これにより、フォトレジストは、フォトレジスト層の高い密着領域またはボイドの低いポケットなしで所望の領域に配信されます。液面モニターは、フォトレジストの厚さを塗布時に常に測定することで、一貫性のある膜厚を維持することができます。抵抗測定装置は、コーティング工程中にフォトレジストの電気抵抗を監視し、記録します。これにより、フォトレジスト層の全体的な品質に関する情報が適用されます。レジスト加熱ブロックは、ウェーハを横切るフォトレジストの均一で再現性のある加熱を可能にすることで、フォトレジストの均一な配送にさらに役立ちます。フォトレジスト層の正確で再現性のある測定と、一貫したレジスト蒸気の正確な配信、フォトレジスト層の均一な加熱を行うことにより、EATON XL622Bは優れた再現性のある高品質のコーティングを作成することができます。これにより、ユーザーは高品質で最小限のバリエーションで一貫したウェーハレベルのフォトレジストレイヤーを作成できます。