中古 DNS / DAINIPPON XS4-I #9179455 を販売中

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DNS / DAINIPPON XS4-I
販売された
ID: 9179455
ウェーハサイズ: 5"
Photoresist stripping system, 5".
DNS/DAINIPPON XS4-Iは、ハードマスキングやソフトマスキング、部品包装、フレキシブル回路など、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに適した複雑なフォトレジスト機器です。広い露光緯度と高解像度の高品位フォトリソグラフィープロセスの要求に応えるように設計されています。DNS XS4-Iは、非常に高い精度で最大限の明瞭さと再現性を実現することができ、過酷なプロセス条件に対応する信頼性の高いソリューションです。DAINIPPON XS4-Iは、オートフォーカスヘッド2基と独自のオゾンフリー原子酸素洗浄ユニットを搭載したデジタルマイクロステッピング露光システムです。また、完全自動登録、アライメント、オーバーレイ用の5軸モーターステージも備えています。高度なフォトツーリングガラスとステージも完全にプログラム可能で、複雑なアプリケーションに柔軟で正確なパターニングを可能にします。XS4-Iは、13。8インチx 13。8インチの最大露光面積を備えた高精度の2 軸X -Yステージを備えています。このユニットは、最大60サイクル/秒の露出速度が可能で、365nmから515nmのUV波長のオプションを備えた拡張可能な光源を備えています。また、DNS/DAINIPPON XS4-Iは、優れた解像度と化学的安定性を提供するユニバーサルArfadianマルチレベルフォトレジスト技術を搭載しています。DNS XS4-Iは、主に負のフォトリソグラフィープロセスを使用するアプリケーションに最適です。この機械の高速および精密は広い応用範囲の高い製造業の出力を可能にします。オゾンを含まない原子酸素洗浄は、有機ELや光フレキシブルデバイスなどのオゾンに敏感なアプリケーションに理想的なソリューションです。直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、露出モード、処理パラメータ、ソフトウェアアップデートなど、ツールの簡単なカスタマイズと操作も可能です。また、ダイニッポンXS4-Iでは、リソグラフィープロセス全体にわたってオペレータの安全を確保する包括的な安全手順を備えています。全体として、XS4-Iは優れたフォトリソグラフィーアセットであり、高解像度、明瞭度、高精度を実現しながら、高品位のフォトリソグラフィープロセスに準拠しています。高いスループットと精度を必要とするフォトリソグラフィ用途に最適なソリューションです。
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