中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #293809355 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARは、先進的な半導体製造プロセス向けのウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、優れたウエハとマスク洗浄性能を提供する統合された光学部品を備えた自己完結型スクラバーです。DNS SSW80A-ARは、複数の高速超音波ノズルを組み込んだウェットスクラブ装置で、フォトレジストやそれに伴う汚染物質を効果的に除去できます。ノズルは調節可能な周波数発生器によって運転され、高速で高い潜在的な除去効率を提供します。ウェーハとマスクはオートクレーブのケージに組み込まれており、部品の正確な位置決めを可能にする2つの調整可能なレールに座っています。この機械には2つの異なるクリーニングチャンバーが装備されており、異なる周波数と異なるクリーニング材料でウェーハまたはマスクを洗浄できます。ダイニッポンSSW-80A-ARは、洗浄が必要なウェーハやマスクの数に応じて、2種類のサイズを用意しています。より大きいサイズに45cmまで2つの働く幅があり、同時に20までのウェーハおよびマスクをきれいにすることができます。より小さいサイズは25 cmまでの働く幅の12までのウェーハそしてマスクをきれいにすることができます。どちらのバージョンでも、ウェーハやマスクのさまざまな曲率に対応するために調整可能な曲率設定が組み込まれており、クリーニングマテリアルに応じて最適化されたクリーニングプログラムを提供します。スクラバーには排気システムとエアフィルターが装備されており、騒音レベルを低減し、発煙や粉塵を効果的に除去します。また、熱警報システムもスクラバーに埋め込まれており、部品の誤動作や過剰ストレスの可能性がある場合に自動的にトリガーされます。視覚ユニットはデジタルモニターと統合されており、操作のサイズと範囲を調整するために調整することができます。スクラバーには、クリーニングプロセスの詳細な検査を提供し、プロセスパラメータのさらなるカスタマイズを可能にする内蔵のレポートマシンも付属しています。全体として、DNS/DAINIPPON SS W80A ARは、高度な半導体生産プロセスに最適な性能を提供するように設計された洗練された信頼性の高いウェットスクラバーです。調整可能なクリーニングパラメータ、統合されたビジュアルツール、排気ダスト低減アセットにより、優れた清潔性と高速除去効率を提供します。それはあらゆるウェーハおよびマスクのクリーニングの必要性のための信頼でき、費用効果が大きい解決です。