中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #293809354 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARは、信頼性が高く効率的で再現性のあるウェーハ洗浄プロセスを提供するように設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。8インチ（200mm）および10インチ（250mm）のウェーハとマスクの処理が可能で、最大スループットは毎時200-250ウェーハ（または対応するマスク数）です。DNS SSW80A-ARはプロセスツールであり、さまざまな機能を備えた自動スクラバーであり、大量生産に適しています。このユニットには、優しく均一なウェーハとマスクの取り扱いのための高度な空気浮遊装置と、より良い粒子除去効率のための追加の真空システムが含まれています。スクラバーには、自動封じ込めユニットと、使用する洗浄薬品の量を減らすように設計された統合ケミカルリサイクル機もあります。ユニットの洗浄プロセスは、高い流体圧力と化学反応洗浄作用を利用しています。調節可能なスプレーヤヘッドはクリーニングケミストリーの分布を容易にし、ブラシホルダーはウェーハ表面と直接スクラブ接触を提供します。このユニットは、中性、アルカリ、酸性および多目的ソリューションを含むさまざまなプロセス化学を実行するように設計されています。ダイニッポンSSW-80A-ARでは、導電率モニターを一体化し、適切な洗浄制御と工具衛生を実現しています。このモニターは、化学組成と体積レベルの両方を同時に監視することにより、最適化された化学洗浄ソリューションを維持するのに役立ちます。モニタリングと制御メカニズムの組み合わせにより、再現性のある洗浄結果を保証します。頑丈なステンレス鋼および他の耐久材料から製造されて、スクラバーは信頼できる使用および手入れ不要操作の年を提供します。このユニットは、クラス1Cleanroom環境下で動作するように構成されており、オペレータを保護するさまざまな安全機能が装備されています。SSW-80A-ARウェーハとマスクスクラバーは、両方の基板からパターンレイヤーの多層を簡単かつ効率的に洗浄する機能をユーザーに提供します。これは、大量生産に最適であり、全体で高い収量を維持するクリーンな結果を提供することができます。