中古 DNS / DAINIPPON SS-W60A-AV #9314198 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W60A-AVは、フォトリソグラフィに使用されるフォトレジスト装置で、半導体ウェーハ上で正確で信頼性の高い回路パターンを生成します。Mid-UV （248nm）レーザーソースを含む最適なイメージング性能を保証するさまざまな機能を提供し、高解像度の画像と高スループットを提供します。また、露光時にウェーハ位置と露光フィールドを揃える高精度のHeNeレーザー露光システムを搭載しています。DNS SS-W60A-AVは、さまざまな光学系やフォトマスクを使用して、高精度のレジスト材料パターンを作成します。イメージアレイスキャナを使用してレーザー露出マカニズムを同期させ、正確なパターン表示を保証します。このスキャナには、NA=0。5の高出力レンズが搭載されており、オーバーラップパターンレイアウトを提供します。これにより、より複雑なパターンを作成するためにパターンを正確に重ね合わせることができます。ダイニッポンSS-W60A-AVは、RIE、 PRT、 SLIT、フラットベッドイメージングなど、さまざまなイメージング技術を活用しています。リアクティブイオンエッチングプロセスは、基板から層をエッチングして金属回路パターンを作成するために使用されます。PRTは、ウエハーの表面を異なる角度方向に細かく画像化することにより、レジスト材料を正確に制御するために使用されるフォトレジストプロセスです。SLITは粒子サイズを小さくするために使用されるリソグラフィー技術であり、フラットベッドイメージングは単純なパターンのためのより従来の画像技術です。このユニットには、高精度のステージと、精密なアライメントとイメージングを支援する幅広い機能が含まれています。50nmの精度ステージムーブメント、傾き補正、クロール防止システム、オートシャッター操作機などがあります。これらの機能は、画像が正確に重なり合い、材料が正確に制御されていること、およびウェーハとの露出フィールドのアライメントが正確であることを保証します。要約すると、SS-W60A-AVは、半導体ウェーハ上で高精度で信頼性の高いパターンを作成するためにフォトリソグラフィで使用される高度なフォトレジストツールです。RIE、 PRT、 SLIT、フラットベッドイメージングなど、さまざまなイメージング技術を活用して、最高のイメージング性能と精度を保証します。