中古 DNS / DAINIPPON SS-80B #293658147 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-80Bは、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス用途のウェーハや回路にパターンを作成するために使用される高度なフォトレジスト機器です。このシステムは、複数の基板サイズ用に設計されており、特定の領域をターゲットにするための調整可能な露出フィールドサイズを可能にし、精密なアライメントを提供します。このユニットのコアコンポーネントはEUV Opticsで、サファイアウェーハを使用して13。5nmの波長の光をウェーハに誘導してイメージング源とする。EUV光学は、ウェーハを正確にパターン化するために、ビームパターンアライメントマシン（BPAS）を使用しています。これは、入射光ビーム角を微調整する可動ミラーの配置によって機能する2ビームアライメントツールです。このBPASアセットは、ビームの整列時に高精度と精度を可能にし、複雑なパターン生成を容易にします。DNS SS-80Bはまた、大規模な生産のためのプロセス速度と精度を向上させるために、さまざまな特殊機能を統合しています。高度なデータ解析と処理により、マルチドメイン露光パラメータの使用を最適化し、より高い感光性能を実現します。さらに、単発照射機能を備えており、所定のエリアの露光回数を減らすことでパターニング時間を大幅に短縮します。安全性に関しては、レーザーが過熱しないようにするための液冷レーザーエンクロージャ、指定された領域の外で発光するビームを迅速に検出するスライドスキャナ機能など、ユーザーを保護するためのいくつかの機能があります。DAINIPPON SS-80Bは、レーザー冷却、単発照射、精密パターニングなどの機能を備えた先進的なフォトレジストユニットです。