中古 DNS / DAINIPPON SKW-80A-BVPE #9198611 を販売中
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ID: 9198611
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1992
Coater / (2) Developer system, 8"
IFB
Right to left
SSW
1992 vintage.
DNS/DAINIPPON SKW-80A-BVPEは、フォトエッチング、フォトリソグラフィー、その他の精密生産プロセス向けの信頼性とコスト効率の高いソリューションを提供するフォトレジスト機器です。基板上のパターンのサイズ、形状、配置を極めて精密に制御する抵抗膜システムです。DNS SKW-80A-BVPEユニットは、ベースレイヤーとトップレイヤーで構成される2コンポーネントマシンです。その最上層は熱硬化性ポリビニルフェノール化合物と独自のポリマーで構成されています。最下層は特別に配合されたフォトレジスト材料です。2つの層が同時に適用され、硬化されます。最上層のポリビニルフェノール化合物は溶媒に対して非常に抵抗力があり、高温で非常に安定しています。これにより、通常のフォトレジスト材料の特性を低下させる高温プロセスでの使用に最適です。また、同じ基板上に異なるレジスト材料の層を接着する際にも便利で、マスキングやパターニングに適しています。ボトムレイヤーに独自のポリマーを採用し、高分解能かつ再現性の高いエッチングおよび印刷パターンを正確に再現できる優れた光学特性と電気特性を提供します。また、エッチングや印刷プロセスで使用される化学物質やその他の材料の浸出にも耐性があります。DAINIPPON SKW-80A-BVPEツールは、優れた接着性を提供し、生産ラインの永久フォトレジスト資産としての使用に適しています。それはまた湿気および共通の化学薬品に対して抵抗力があり、大量の生産バッチ上の安定性を保障します。さらに、このモデルはさまざまな溶剤や開発者と互換性があり、さまざまなプロセスでの使用に適しています。結論として、SKW-80A-BVPEフォトレジスト装置は、精密生産プロセスのための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。その耐性の高いトップレイヤーは、優れた光学および電気特性を提供し、生産ラインの永久フォトレジストシステムに適しています。その底層は、エッチングおよび印刷プロセスで使用される一般的な化学物質にも同様に耐性があります。これらの機能はすべて、このフォトレジストシステムをさまざまな生産ニーズに対応する信頼性と費用対効果の高いソリューションにします。
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