中古 DNS / DAINIPPON SKW-80A-BVP #9053621 を販売中
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ID: 9053621
ウェーハサイズ: 8"
Coater / Developer system, 8"
Includes:
MICROBAR Trackmate
A & B Chemical dispense units
DAINIPPON Cassette stage unit
Misc. parts.
DNSスクリーンDNS/DAINIPPON SKW-80A-BVPは、マイクロナノ加工プロセスの開発に使用される高性能フォトレジスト装置です。マイクロエレクトロニクスデバイスから大規模集積回路まで、さまざまな用途に適した高精度なレジストパターンを製造することができます。このシステムは、4。2mm厚のフォトレジスト層を使用して、必要なパターンを生成します。それは二重貝、中空シリンダー等方性の中心および均一な照明を提供するための環状導波路のメカニズムで構成されます。このユニットは、レジストの厚さ、濃度、フィルムの質感など、すべてのパラメータを必要なレジストパターンのために管理する自動露出サイクルを備えています。フィルムの特性は、可変周波数、エネルギー密度、温度制御によって向上します。採用されている基材は、非常に軽量で耐久性があります。窒化チタン、ケイ酸チタン、二酸化ケイ素などの耐熱・耐薬品層で構成されています。コア部品と環状部品は、材料の変動による歪みを低減し、広い領域で均一な照明を確保するように設計されています。さらに、露光前と露光中にレジストプロファイルをデジタル調整し、露光プロセスを自動化して正確にするデジタルイメージングツールを搭載しています。このアセットは、多層リソグラフィーおよびインラインリソグラフィーシステムにも対応しており、複数の場所で同時にプロセスを実行できます。モデルは容易な維持管理のために設計されています。すべての重要なコンポーネントは防塵エンクロージャで保護され、保護されているため、機器の安全な長期運用が保証されます。フォトレジストのコアは、すばやくアンインストールしてインストールするのが簡単です。デバイスのメンテナンスも簡単で、コンポーネントへの迅速かつ簡単なアクセスを可能にします。DAINIPPON Screen DNS SKW-80A-BVPフォトレジストシステムは、高度で信頼性の高いデバイスです。高精度なパターンを作成するための最先端の機能を提供し、幅広い用途で優れた結果を生み出します。マイクロファブリケーションプロセスに最適で、高精度なパターンを迅速かつ効率的に、信頼性が高く、費用対効果の高い生産を保証します。
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