中古 DNS / DAINIPPON SKW-80A-AVPE #293760410 を販売中

DNS/DAINIPPON SKW-80A-AVPEは、高精度アプリケーションの一環として、ユーザーがさまざまな基板にパターンを正確に開発および転送することができるフォトレジスト機器です。一貫性のある信頼性の高い結果を生み出すために協力する統合されたコンポーネントの配列を備えています。システムは、加熱ステージ、カメラ、アライメントユニット、レーザー駆動ステーションで構成されています。加熱されたステージは、フォトレジスト材料の適切な処理を可能にするために基板温度を制御し、維持することができます。このステージは、開発プロセスにおけるドリフトを最小限に抑えるための正確な温度制御を提供し、さまざまなプロセスや基板に合わせて調整できるヒーターを内蔵しています。本機で使用するカメラは、ダイナミックレンジの高い高解像度画像を取得できる高解像度デジタルツールです。カメラは通常、より鮮明な画像を提供するためにオートフォーカス技術と結合されています。カメラには露出タイマーが内蔵されており、基板の特性に応じて露出時間を調整できます。このアセットは、デュアルレーザービームを使用して、開発プロセスが再現可能であり、最高精度でパターンを開発することができます。高精細度パターンを開発するための正確なアライメントデータを提供することにより、アライメントされたレーザービームが基準点として機能します。最後に、レーザー駆動ステーションはパターン形成と開発に使用され、スムーズで一貫した結果を保証するために高度に最適化されたレーザドライバと光学系を備えています。ステーションには、基板の特性に応じてレーザー出力の焦点を調整できる高速フォーカシングモジュールもあります。全体として、DNS SKW-80A-AVPEはフォトレジストアプリケーションに最適なモデルです。一貫して信頼性の高い結果を生み出すために、精度と精度に重点を置いた統合されたコンポーネント群を備えています。この装置は、フォトレジスト材料を効果的に処理し、さまざまな基板材料の高精細パターンを開発するように設計されています。