中古 DNS / DAINIPPON SKW-629 #9181757 を販売中

DNS / DAINIPPON SKW-629
ID: 9181757
ウェーハサイズ: 6"
Coaters / Developers, 6".
DNS/DAINIPPON SKW-629は、半導体加工に使用するために設計された、マイナストーン、プラス作用フォトレジスト装置です。これは、高度で化学的に増幅されたフォトレジストであり、さまざまな光学露光ツールと互換性があります。DNS SKW-629は、高度なリソグラフィにおけるプロセス制御要件の歩留まりとパフォーマンスを最適化するように設計されています。優れた解像度、優れたエッジ依存性、および高コントラストを提供します。フォトレジストは、幅広い露光環境で優れたレジスト性能を提供します。その低用量感度は、プロセス時間を短縮し、ウェーハパターニングを簡素化するのに役立ちます。DAINIPPON SKW-629レジストは、他のアークリックレジストシステムよりも優れたドライエッチング抵抗を持ち、プラズマエッチング用途において強力な均一なエッチング結果を保証します。また、カーボンアイソレーション層を備えており、エッチング速度の精度を向上させ、均一性を向上させます。また、複数の紫外線ランプに長時間さらされた後のフィルム安定性も向上しています。このユニットは、イメージング特性を向上させ、優れた写真欠陥プロファイルを提供するように設計されています。サブミクロンからシングルレイヤー、高度な多層設計まで、幅広い機能を作成できます。レジストはまた優秀なプロフィール制御を提供します、より均一な特徴の設計を可能にし、プロセス時間を減らす速い露出時間。このマシンは、SEMI標準洗浄製品、エッチング剤、開発者、蒸着相の成膜材料など、さまざまなコンポーネントと互換性があります。レジストは、立体的な水を最小限に抑えてパターン化できるため、3D構造での使用に最適です。最後に、SKW-629レジストは、最も一般的な湿式加工薬品で使用でき、プロセス全体の互換性と品質を確保します。全体的に、DNS/DAINIPPON SKW-629フォトレジストツールは、幅広い半導体製造アプリケーションで高品質で反復可能な結果を提供するように設計されています。優れた解像度、迅速な露光時間、およびエッチング抵抗の向上を提供します。レジストは優れたプロファイル制御を提供し、より均一な最終製品のために幅広い機能を作成できます。さらに、この資産は、業界標準の部品や洗浄製品の大部分と互換性があります。その十分に丸みを帯びた特徴のセットはそれを現代破片の製作の高度のリソグラフィのための理想的な選択にします。
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