中古 DNS / DAINIPPON SKW-629-BV #293808882 を販売中

DNS/DAINIPPON SKW-629-BVは、高精度な半導体リソグラフィ用途のために設計された高精度フォトレジスト装置です。Digital Iris Unit （DIS）と、最大50nmのラインとスペースのアプリケーションで使用できる大型基板に対応する9インチのステージを備えています。Digital Iris Machine （DIS）は、フォトレジストアプリケーションに高い精度を提供します。光源と制御ユニットの2つのコンポーネントで構成されています。光源は、LEDスポットを中心からターゲット抵抗点まで高精度に移動させるためのステップモータと結合した自己完結型LEDソースです。コントロールユニットは、ビジョンツールからターゲット位置データを収集し、3D座標に変換して、LEDスポットをレジストレイヤーに正確に配置します。これにより、フォトレジスト層のパターンの正確なオーバーレイが可能になります。9インチのステージは、直径4インチまでの基板と大きなレジスト層をサポートしています。また、アライメント精度を確保するためのインテリジェントなエッジ検出アセットも備えています。このモデルでは、エッジプロファイル情報、ターゲット方向データ、グローバルイルミネーションパラメータを使用して、レイヤーを直線的に登録し、オクルージョンまたはエッジエラーを排除します。この装置は、多くの安全機能も備えています。これらには、過圧シャットオフ、過剰照明シャットオフ、および電圧変動による潜在的な損傷を防ぐための緊急電源シャットオフが含まれます。また、異常温度、ショートなどのシステム異常を検出するモニタリングシステムも内蔵しています。DNS SKW-629-BVユニットは、高精度で反復可能なリソグラフィ結果を幅広い用途に提供するように設計されています。これは、損傷や故障のリスクを最小限に抑えて高精度を保証する高度な機能で設計されています。ナノ電子デバイス、集積回路、MEMSデバイス、センサの製造などの用途に適しています。