中古 DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #9300359 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-W80B-AVPEは、高精度の先進真空プレスシステム（AVP）を利用したステップアンドリピート型フォトリソグラフィ装置です。電子部品、半導体回路パターン、光学部品を10〜20nmの精度で製造することができ、高解像度材料の高精度パターニングが可能です。このマシンは、高精度でリニアモータ駆動の5軸リニアモーションステージとX-Y-Z- θを使用して、パターンをスキャンして整列させ、より正確な露出位置と運動学的精度を確保し、パターン歪みのリスクを確実に低減するメカニズムをΦします。テーブルトップと手動ウェハトランスファーステーションを備えているため、ウェハーをステージ上に正確に配置して露出ステーションに移動することができます。自動アライメントのアセットも利用可能で、正確なアライメントと再現性を実現します。このモデルは、生産プロセス全体にわたって安定した正確な露出と一貫した性能を提供するように設計されています。高ダイナミックレンジ、高精度ステップステージ変形ミラー装置を搭載し、小さな針のような特徴を含む幅広い幾何学的特徴にわたって高分解能の露出を可能にし、正確な配置精度と均一な露出を確保します。さらに、このシステムは、効果的な光の露出を増加させ、光絶縁性を向上させるエアギャップ充填技術をサポートすることができます。このユニットは、1.2Wの平均広帯域レーザー出力、高精度の真空プレス、移動ステージ、XYZ θΦムーブメントマシン、X-Y光学エンコーダ、プログラム可能な露光パラメータを備えたレーザダイオード照明など、多くの機能を備えたコンパクトで高性能なフォトリソグラフィックマシンです。さらに、振動のない操作を確実にするために、防振ツールが内蔵されており、ダストやダートシール構造が内蔵されているため、周囲のほこりや粒子が資産に侵入するのを防ぎます。DNS SK-W80B-AVPEは、高精度処理のために設計された堅牢で信頼性の高いフォトリソグラフィックモデルです。この機器は、ユーザーフレンドリーなインターフェースと簡単に設定できるパラメータを備えており、フォトリソグラフィープロセスを簡素化します。このシステムは、SEMI P-14およびP-19規格に完全に準拠しているため、複雑で高精度なフォトリソグラフィーニーズに最適です。