中古 DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #293746067 を販売中

DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE
ID: 293746067
ウェーハサイズ: 8"
Coater / (2) Developer system, 8" Wafer flow: Right to left IFB.
DNS/DAINIPPON SK-W80B-AVPEフォトレジスト装置は、半導体、磁性材料、薄膜トランジスタアレイなど、さまざまな基板上の3Dパターンを高精度で自動処理するソリューションです。最大解像度0。6ミクロンの薄いラインと細かいディテールを生成するように設計されています。DNS SK-W80B-AVPEは、プロセス機能を備えたオールインワンの自動フォトリソグラフィーシステムであり、キャリブレーション、フォトマスク検査、露出、および露出後の検査を行うための組み込みソフトウェアスイートです。オートビジョンユニットは、露出パターンの写真を撮影して処理し、露出時間、ステッパー駆動速度、パターン位置を結果に応じて調整できます。フォトレジスト用スピンコーター、残留フォトレジスト除去用真空スピンクリーナー、フルフレームマスクアライナー付きUV露出ユニット、レジストベーキング用熱抵抗オーブン、ウェットエッチングステーションを備えています。DAINIPPON SKW-80B-AVPEは、フォトレジストと二重周波数露光が可能で、アスペクト比の高いパターンの作成が可能です。このツールはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、オペレータは各プロセスのステップをリアルタイムで監視できます。また、複数のシステム間でデータを共有できるユニークな機能も備えています。これにより、パターン転送、生産性の向上、生産のダウンタイムの減少が可能になります。DNS SKW-80B-AVPEは、シリコン、サファイア、石英、ダイヤモンド、ガラス、プラスチック、セラミックスなど、幅広い基板に対応しています。幅広い線幅、ピッチ、奥行きのある平面基板と曲面基板の両方で3Dパターンを確実に再現し、さまざまな用途に対応できるように設計されています。DNS/DAINIPPON SKW-80B-AVPEは、信頼性が高くメンテナンス性が低いため、フォトリソグラフィのニーズに合わせた費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。その汎用性と高解像度の機能を組み合わせることで、高度なエレクトロニクスや半導体デバイスの製造に必要な小型で複雑なパターンを作成するための理想的な資産となります。
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