中古 DNS / DAINIPPON SK-W80A #9144966 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-W80Aは、半導体ウェーハの製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムはレジストコーティング材を使用しており、強い光にさらされて所望の機能をウェーハにエッチングします。この技術は、半導体の回路パターンを定義するために感光材料（フォトレジスト）を暴露し、紫外線を含む高度なフォトリソグラフィープロセスから来ています。プロセスは、半導体ウェーハ表面にスピンコーティングされたフォトレジストの層から始まります。スピンコーティングされると、DNS SK-W80Aは投影ステッパーから紫外線でフォトレジストを露出します。この過程で、フォトレジストは所望の回路パターンに従ってパターン化されます。光にさらされた領域は不溶になり、露出されていない領域は溶けたままになります。次に、露出フォトレジストは化学開発者で開発されます。この開発者は、不溶解性レジストを所望の回路パターンをカバーする保護層として残しながら、露出していないフォトレジストを除去します。回路パターンを完了するために、エッチング剤や金属化などの追加の化学プロセスが使用されます。最後に、新しく作成された半導体パターンを公開するためにフォトレジストを削除します。DAINIPPON SKW-80Aは、ナノメートルレベルのウェーハ加工に適した先進的な機能を多数備えています。高感度のレジストコーティング材、高精度露光技術、機械加工機を備えています。これにより、半導体ウェーハをコーティングして露出する際の精度が保証されます。さらに、内蔵のアライナーにより、わずか0。1 mJ/cm2の露出時間を短縮し、高解像度で優れた再現性を備えた高品質の露出パターンを提供します。このツールは、ナノメートルレベルの設計機能を備えたウェーハの製造に集中的に適しています。また、低感度Snイオンや0。75um径ナノワイヤなどの材料に適した高度な温度制御を実現しています。精密露光技術などの高度なプロセス制御機能を備えており、極端な温度下でも様々な環境での動作が可能です。DNS/DAINIPPON SKW-80Aには、コーティングレジスト用のプロセスチャンバーが内蔵されており、連続的な生産プロセスを容易にするために様々な追加アクセサリーが用意されています。ダイニッポンSK-W80Aは、ナノメートルレベルの機能を持つウェーハの製造を可能にする高精度フォトレジスト装置です。その敏感な抵抗のコーティング材料および高度のプロセス制御の特徴はそれを極度な温度の下で、いろいろな工程のために適したようにします。内蔵のアライナーとディスペンスシステムにより、非常に高解像度で再現性の高い品質露光パターンを保証します。