中古 DNS / DAINIPPON SK-W60A-BVP #9354122 を販売中

ID: 9354122
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2004
Coater / Developer system, 6" 2004 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-W60A-BVPは、高性能で多機能なフォトレジスト機器です。これは、ユーザーがフォトレジスト開発に関連するさまざまなプロセスを実行できるようにする幅広いコンポーネントで構成されています。このシステムの中心には、最先端の光源があります。この装置は2つの強力なXeランプを備えており、200〜780nmの波長範囲を提供します。これはほとんどのフォトレジストプロセスに最適です。さらに、2つのシャッター制御システムは、最大10ms/ステップの精度でさまざまな露出制御オプションを提供します。このユニットはまた、音圧レベルを低下させ、安定した低い洗浄圧力を維持するのに役立つ2周波数の洗浄バルブを備えています。これにより、フォトレジスト材料を基板に正しく適用しながら、基板への損傷を最小限に抑えることができます。また、DNS SK-W60A-BVPはホットプレートを内蔵しており、加工前に基板を予熱することができます。これにより、フォトレジスト塗布時の溶媒蒸発を最小限に抑え、基板にエッチングされた回路パターンを適切に再現できます。予熱プレートと連動して、幅広い加工能力を備えたフォトレジスト機です。例えば、ユーザーはシートの張力と処理時間の最適なバランスを達成できるように、無制限の張力制御にアクセスできます。これは、スループットを向上させ、品質の結果を保証するのに役立ちます。フォトレジストツールは、インラインブレークビューアと顕微鏡も備えており、現場でのプロセス監視に使用して、さらなる処理前にフォトレジストパターンの品質を評価することができます。統合されたPCと組み合わせると、この一連の機能により、必要に応じて処理パラメータをすばやく変更できます。DAINIPPON SK-W60A-BVPは、さまざまな用途に適した優れたフォトレジストアセットです。それはユーザーが質の結果を保障するためにプロセスの配列を遂行することを可能にする部品の広い範囲を特色にします。これらの機能と高性能を組み合わせることで、フォトレジスト処理を簡単かつ正確に完了することを検討している人にとって、SK-W60A-BVPは素晴らしい選択肢となります。
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