中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVPE #9316585 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVPEは、主に集積回路製造用に設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムには、ポジティブフォトレジストとネガティブフォトレジストの両方を処理するための特許取得済みのデュアルジェットプロセスが装備されており、優れたアスペクト比の制御と表面精度を可能にします。ユニットの最先端の設計には、真空補助エッチングとチャンバー制御も含まれており、フォトレジストの迅速かつ正確な適用を容易にします。DNS SK-80BW-BVPE機は、ウェットクリーニングステーションとフォトレジストコーティングツールで構成されています。ウェットクリーニングステーションは、高度なロボット液体供給技術を使用して、有機および無機汚染物質、化学的および/または超音波を同時に除去し、粒子状汚染のない均一で一貫した表面に乾燥させます。フォトレジストコーティング資産は、特許取得済みのデュアルジェットプロセスを使用しており、フォトレジストケミカルは、ポジティブ（PMMA）とネガティブ（SU-8）フォトレジストの2つの異なるジェットを介して供給されます。2つの異なる化学製剤は正確に計量され、化学物質の均一なパタリングを確保するために、統合された大気プラズマ発生器を備えたチャンバーに導入されます。フォトレジスト化学物質の流れを最適化することで、ウェーハ上のフォトレジスト層が一貫して均一になり、アスペクト比の制御が向上し、収率が向上します。統合されたエッチングチャンバーは、追加の処理手順を必要とせずにフォトレジストの精密エッチングを可能にします。レジストの真空アシストエッチングが有効になり、揮発性フォトレジスト部品を別のチャンバーに追い払い、歩留まりを増加させます。最後に、DAINIPPON SK-80BW-BVPEモデルは、優れたチャンバー安定性と制御を提供し、フォトレジストの均一で再現可能な処理を可能にします。要約すると、SK-80BW-BVPEフォトレジスト装置は、集積回路製造に特化した最先端の機能を備えて設計されています。このシステムのデュアルジェットプロセスと統合エッチングチャンバーにより、優れたアスペクト比の制御、より高い歩留まり、より高速な処理、および表面精度の向上が可能になります。フォトレジストと統合されたプラズマ発生器の最適化された流れは、廃棄物の削減と一貫した均一なパターンを提供します。全体的な結果は、今日の厳しい製造要件を満たすためにフォトレジストを製造するように設計された信頼性の高い高性能ユニットです。