中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVP #9182582 を販売中
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ID: 9182582
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
(2) Resists coater stations
ARC Coater station
Interface to NIKON NSR S203B Scanner
DUV-Resist
Housing with FFU
FTC
(2) Microbar trackmates
Scanner interface
Power supply: 208 V, 4.0 kW, 60 Hz, 4.0 A
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVPは、薄膜マイクロエレクトロニクスデバイスの製造および開発に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。分解能とクリティカルな寸法で優れたリソグラフィ性能を発揮し、高品質、信頼性、再現性の高い構造をデバイス製造に提供します。システムは、DI-3000EダイレクトプロジェクションアライナーとSK-80BW画像オシロスコープで構成されています。DI-3000Eは、最新の光学技術とコンピュータ技術を活用し、デバイス製造時のアライメントの高精度と再現性を実現しています。レーザーベースのアライメントユニットを使用して基板をフォトマスクに完全に揃え、LEDを使用してアライメントが完璧であることを確認します。また、高度な自動補正機能を備えており、アライメントが非常に正確になります。SK-80BW画像オシロスコープは、ブロードバンドレーザーで照らされた真空フォトマスクと、イメージング光学系とライトシールドを含む特殊な積層フィルム配置を使用しています。光シールドは、レーザーからの光が制御された一貫性のあるパターンに反映されることを保証し、高解像度の構造を開発することができます。このフィルムは、AZOX層や金属層などのデバイスの機能成分を分離するために使用されます。DI-3000EとSK-80BW画像オシロスコープの組み合わせは、優れたリソグラフィ性能を提供します。このツールは、高解像度、信頼性、再現性の高い構造を必要とするデバイス製造アプリケーションに理想的です。このアセットは、高度な光学技術、コンピュータ技術、ライトシールドにより、信頼性と一貫したデバイス性能を保証するために必要な精度と性能を提供します。また、生体医療機器、太陽電池、センサー、ディスプレイ材料など幅広い用途に対応しています。
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