中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354132 を販売中
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ID: 9354132
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1997
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-25)
In-line
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
Control rack
Interface
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPFは、高度で次世代のリソグラフィープロセス用に特別に設計された高性能フォトレジスト機器です。それは優秀なプロセス制御、小さい特徴の決断および高性能を提供するように設計されています。DNS SK-80BW-AVPFフォトレジストシステムは、いくつかのコンポーネントで構成されています。まず、高精度なスピンコーターを内蔵しており、幅広い基板やウエハサイズのフォトレジストを均一にコーティングすることができます。スピンコーターは、ウェーハサイズとコーティングパラメータの広い範囲を効果的にサポートするために最適化された設計で構築されています。これにより、フォトレジストが基板全体に均等に適用されます。大日本SK 80BW-AVPFには、高精度で微調整されたベイクステーションも含まれており、フォトレジストを均等かつ適切に焼き上げることができます。さらに、ベイクステーションは通常、多層PEB（露出後ベーク）で構成されており、レジストコートの不均一性を防ぎ、欠陥や粒子のコーティングのリスクを低減します。さらに、SK 80BW-AVPFユニットには高精度のリソグラフィ露光ステージがあり、基板を正確に整列させ、最も正確で正確な露光時間と強度を提供するように設計されています。この露光ステージは、フォトレジスト層の小さな特徴の解像度を最大化します。最後に、DNS/DAINIPPON SK 80BW-AVPFには、開発後の特殊な化学プロセスステーションが含まれています。これにより、フォトレジストが適切に開発され、基板から適切に除去され、均一な欠陥のない層が得られます。さらに、開発後のプロセスでは、汚染や排ガスの原因となる不要な残留物が排除されます。全体的に、大日本SK-80BW-AVPFは優れたプロセス制御、小さな機能分解能、および高性能を提供するように設計された高度なフォトレジストマシンです。最先端の次世代リソグラフィープロセスで使用するための理想的なツールであり、最高品質のフォトレジスト層を確実に得るのに役立ちます。
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