中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354131 を販売中
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ID: 9354131
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1998
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-26)
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
(3) Control racks
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPFは、半導体デバイス製造に使用される先進的なフォトレジスト機器です。高度なマスクレスリソグラフィ技術と最先端のフォトレジスト化学を組み合わせ、優れたライン、空間、パターン分解能を実現します。KrFレーザーダイレクトイメージ投影技術を採用し、多様なウエハ基板に精密かつ信頼性の高いリソグラフィを実現しています。これにより、従来のリソグラフィの性能を最適化し、製造コストの削減、歩留まりの改善、サイクルタイムの短縮を実現します。DNS SK-80BW-AVPFフォトレジストは、優れた解像度とラインエッジコントロールを提供するように設計されています。高度な無機光吸収材を採用し、最小248nmのレーザー波長を減衰させ、パターンの忠実度と精度を向上させます。また、独自の光重合技術も備えており、露光範囲全体にわたって光強度のより大きな変調を提供します。これらの機能を組み合わせることで、コントラストの向上、パターンの歪みの低減、画像ノイズの低減、寸法精度の向上を実現します。さらに、ウェットエッチングやドライエッチングなど、さまざまな後処理技術と互換性があることもメリットです。これにより、すべての半導体デバイス製造プロセスを大日本SK 80BW-AVPFフォトレジストシステムと容易に統合できます。全体的SK-80BW-AVPF、フォトレジストツールは、正確なライントレースとエッジ制御を必要とするデバイス製造に最適なソリューションです。分解能を拡張し、優れた減衰力と組み合わせて、高品質の半導体デバイスを製造するための効率的かつ低コストのプロセスを実現します。ポストプロセス技術の幅広い選択は、エレクトロニクスやナノテクノロジーの幅広い用途をカバーする、さまざまなデバイス製造技術に適しています。
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