中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298993 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPEは、DNSスクリーンが開発した深紫外線（DUV）フォトレジスト装置です。このシステムは、半導体産業における技術駆動型アプリケーションに必要な一貫した生産性、信頼性、精度で高い性能を維持します。DNS SK-80BW-AVPEは、自動化されたビジョンベースの前露光（AVPE）検査ユニットを使用して、リソグラフィープロセスの前に正確なウェーハアライメントを保証します。このマシンは、TTLレーザダイオード技術を使用してエッジとセンターアライメントを検出し、スチールメッシュ欠陥検査を行います。さらに、電動光学ズームにより、ウェーハサイズとセンターアライメントを同時に正確に調整することができます。検査は500/secのピクセルレートで行われ、75mm x 75mmの範囲で最小の微細構造を検出することができます。DAINIPPON SK 80BW AVPEは、最大4 mJ/cm2のDUV光を300-340 nmの波長範囲で最適な線量で提供するオンボードDUV照明器を備えています。このツールには、photochemical automation asset （PAS）も搭載されており、フォトレジストのレシピと露出パラメータを簡単に設定できます。PASには最大99個のレシピを保存できる機能もあり、ユーザーは単一のプロセスで異なるレシピを切り替えることができます。SK-80BW-AVPEの革新的な設計には、外部チラーの必要性を排除し、信頼性の高い反復可能なフォトレジスト性能を提供する内部温度制御モデルも含まれています。二酸化塩素のループフロー装置は、改善された安全対策と費用対効果の高いソリューションを提供します。さらに、このシステムには、精度と生産性を向上させるいくつかの追加機能が付属しています。これらには、自動ドーザー、プログラム可能な露出、2段階の自動混合エッチング、および複数の安定した液体冷却照明が含まれます。全体として、DNS/DAINIPPON SK 80BW AVPEユニットは、高い精度と精度を必要とするアプリケーション向けに、信頼性と費用対効果の高いフォトレジストソリューションを提供します。高性能な機能セットと包括的な安全対策により、最新の微細加工プロセスに最適です。