中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298992 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPEは、半導体業界で活躍する高性能フォトレジスト機器です。優れたウエハプロファイル品質で60nmの機能を解決でき、手動で調整する必要はありません。フォトレジストコーティングで最高のスループットを提供するように設計されており、従来の方法の大幅な改善に役立ちます。システムの中心には、非常に強力なクランプユニットと組み合わされたステッパー対応の500mm円形スピナーがあります。このデザインは、ウェーハの非常に耐久性のある転送を可能にし、転送中に非常に脆弱なフォトレジストコーティングを保護します。超微細加工には高性能で精密なサーボモータを使用し、スピナー設計とノズル洗浄工具を使用して粒子汚染を低減しています。また、SC-80BW-AVPE資産には、環境を真空化・制御し、微細な粒子を除去し、優れたウエハプロファイル品質を確保するための高性能空気排気を装備しています。このモデルは、スマートモニター/制御機器を備えた最新のフォトレジストアプリケーション技術を使用して、迅速かつ信頼性の高い転送を実現します。このシステムには、精密なサーマルセンサーを使用して、流体温度を制御するためのユニークなユニットが組み込まれています。このマシンは、フォトレジストが理想的な温度範囲で適用され、紫外線にさらされたときに最大の精度と付着を達成することを保証します。また、精密なレーザー位置検出により、資産の精度をさらに向上させ、ウェーハ表面全体に均一なフォトレジストのコートを確保します。全体として、DNS SK-80BW-AVPEは高性能で次世代のフォトレジストモデルであり、非常に小さな機能を信じられないほどの精度で解決することができます。ウェーハ表面に完全に付着する均一なコーティングを提供するために、流体温度、空気排気、レーザー位置検出を制御するための高度なシステムが装備されています。この装置は半導体業界の大きな強みであり、必要最小限の手動調整でフォトレジストコーティングの標準を設定しています。