中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298990 を販売中
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPEは、ウェーハフォトリソグラフィなどのアプリケーションで最高の速度、精度、精度を提供するように設計された、高度な半導体製造に使用されるウェット処理フォトレジスト装置です。システムは、メインユニット(露出ヘッドを含む)、コントロールキャビネット、および配電およびコントロールボックスの3つの主要なコンポーネントで構成されています。メインユニットは露出プロセスを正確かつ正確に制御するのに役立ちますが、コントロールキャビネットと配電およびコントロールボックスは電源障害からユニットを保護するのに役立ちます。露出の頭部は内部ランプハウジング、スリットのマスク、船上のスリットの整列および登録のメカニズムおよび電源およびランプ制御機械から成っている結合された光源およびスリットマスクアセンブリです。このツールには、露出プロセスに影響を与える可能性のある熱勾配を防ぐための冷却アセットも含まれています。スリットマスクは容易に取り替え可能であるように設計されています、異なった適用に使用される異なった軽いパターンを可能にします。外部コンピュータ接続も利用可能で、ユーザーはさまざまなウエハサイズと露出のモデルをプログラムすることができます。装置を制御するために使用されるソフトウェアは、露出時間やエネルギーレベルなどの露出パラメータを正確に制御することができます。DNS SK-80BW-AVPEフォトレジストシステムは、高精度の精度を目指して構築されており、独自のスリットマスク設計により、光学的明瞭度を高める高解像度の画像を提供します。このユニットは、単一のフォトレジストアプリケーションから最大64のデータポイントを取得できるデータ分析用にも設計されています。機械は堅牢で信頼性があり、正確で再現性のある結果を提供することができます。さらに、このツールは完全に設定可能で、露出設定を変更してウェーハサイズや厚さを変更することができます。これにより、特に極めて精度と精度を必要とするフォトレジストプロセスに適しています。
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