中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #293807995 を販売中
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPEは、半導体デバイスをパターン化するために設計されたフォトレジスト機器です。デバイス製造コストを大幅に削減するための次世代ドライエッチングツールとして開発されています。その過程で、フォトレジスト材料は電子や光子のビームにさらされ、そのパターンはレジスト材料で開発され、材料内のパターンが形成されます。DNS SK-80BW-AVPEシステムは、フォトレジストアプリケーションモジュールとエッチプロセスモジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジストアプリケーションモジュールには、フォトレジストエマルジョンとアプリケーションアームの2つの主要コンポーネントが含まれています。フォトレジストエマルジョンはアプリケーションアームによってデバイス表面に広げられます。エッチプロセスモジュールは、エッチチャンバーとエッチング電極の2つの主要コンポーネントで構成されています。エッチングチャンバーはデバイス表面に高電圧を印加し、プラズマが形成されて抵抗材料と反応してパターンが生成されます。DAINIPPON SK 80BW AVPEは、従来のエッチングプロセスに比べて、材料沈着深度の大幅な削減、加工時間の短縮、パターニング品質の向上、コストの大幅な削減など、いくつかの利点を提供します。さらに、自動切断プロトコルやエッチング工程の緊急停止などの安全機能が統合されています。さらに、このマシンは非常に正確に設計されており、デバイスの製造コストを削減する大容量を備えています。最後に、このツールはサブ50nmとサブ100nmの両方のフィーチャーサイズを使用することができ、デバイスの複雑さとパフォーマンスの向上を可能にします。DNS SK 80BW AVPEは、幅広い半導体デバイス用途向けの汎用性と効果的なソリューションです。コストの大幅な削減とパフォーマンスの向上を実現し、安全性と正確性を提供します。
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