中古 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #293648719 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 293648719
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2012
Coater / Developer system, 6"
(2) Chemical cabinets
Environment control unit
Pump rack
Controller
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPEは、半導体基板の微細で詳細なパターンを生成するために、新しく高度なリソグラフィ画像法を利用したフォトレジスト機器です。この技術は、半導体製造業界においてますます重要になってきています。DNS SK-80BW-AVPEシステムの中核には、高エネルギー電子源を利用した光源があります。感光コーティングまたは媒体にパターンを書くために使用される光を生成します。感光コーティングには、低エネルギーで高精度な光源が必要で、大日本SK 80BW AVPEユニットが登場します。紫外線に敏感な媒体を使用し、光源がコーティングを正確に照らすことができ、高い精度でパターンを作成することができます。光源と感光コーティングを組み合わせてパターン化されたウエハを生成し、レジスト溶液にさらされます。この溶液は、基板に所望のパターンをエッチングするために使用することができる局所化化化学反応を作成するために使用されます。エッチング加工は極めて高精度で精度が高く、数ナノメートルの厚さまでパターンを作成することができます。基板が望ましい形状にエッチングされた後、誘電蒸着、金属蒸着、平面化、およびその他の半導体チップ製造工程などの追加プロセスに対応できます。DAINIPPON SK-80BW-AVPEは、最高レベルの精度と精度で動作するように設計されており、最先端の半導体チップに最適です。SK 80BW AVPEマシンは、高精度の光源と感光コーティングのモチーフを活用することで、現存する最も複雑で詳細な半導体パターンのいくつかを作成することができます。これは、世界最大の半導体チップメーカーの多くにとって需要のある選択肢となります。
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