中古 DNS / DAINIPPON SK-80A #293636205 を販売中

DNS / DAINIPPON SK-80A
ID: 293636205
ウェーハサイズ: 8"
(2) Coater / Developer systems, 8".
DNS/DAINIPPON SK-80Aは、フォトレジストとスペーサー材料の精密露光を実現する最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、最も薄い基板上でも、正確な複製のための安定したデジタルスキャン機構と水晶マイクロメータを備えています。このユニットは、0。5〜600 µmのフォトレジストおよびスペーサー材料の露出に使用できます。統合された高解像度デジタルスキャンは、基板の反りや地形の変化による潜在的な露出欠陥を補償します。このマシンには、65インチモニターと直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、カスタマイズ可能なメニューと露出設定があります。モニターのプレビュー機能により、露光時間と強度をリアルタイムで監視することができ、素早く簡単に調整できます。さらに、このツールは、presentizationの有無にかかわらず基板を露出することができます。DNS SK-80Aの露出サイクルタイムは、標準システムと比較してはるかに短いため、生産時間が短縮され、スループットが向上します。DAINIPPON SK 80Aは、リモコンとプログラム可能なリピート露光を備えた自動基板負荷アセットも備えています。このモデルの真空コンベア設計により、基板の毛布から毛布への自動洗浄も可能になり、潜在的な汚染を排除します。露出プレートは、基板温度を調整し、露出材料の誘電率を制御するための温度範囲を制御しています。DAINIPPON SK-80Aは、露出領域全体にわたって露出と精度の優れた均一性を提供することが証明されています。これは、傾斜や地形の問題がある薄い基板や大きな基板にとって特に重要です。さらに、装置には露出ヘッドのキャリブレーションが組み込まれており、さまざまなプログラム可能な露出設定を保証します。紫外線の安全機能には、オートシャットダウンやインターロックが含まれ、過熱や紫外線への曝露の可能性を防ぎます。DNS SK 80Aは、リソグラフィ、スパッタフィルム修復、レジストおよびスペーサー層アプリケーション、および電子ビーム抵抗用の完璧な統合システムです。DNS/DAINIPPON SKは、露出精度、素早い露出サイクルタイム、自動洗浄、プログラマブル設定に優れているため、幅広いフォトレジスト用途に最適なマシンと80Aています。
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