中古 DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP #195914 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-60A-BVPフォトレジスト装置は、大量の処理能力を備えた先進的なリソグラフィーシステムです。石英、シリコン、ガラスなど様々な基板を加工できるシングルウェハツールです。このユニットは、高度なPECVD （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）プロセスと二重露光技術を利用しています。二重露光法により、2つの異なるフォトレジスト層を異なる角度で同時に露出することができます。これにより、効率が向上し、より均一なエッチング特性が得られます。DNS SK-60A-BVPは、磁気浮上スピナーと自動ローダーを使用して基板制御を改善します。高性能で100kHzなレーザービームを採用し、イメージングやライティングの精度を高めています。このマシンは、最大600Wの光子露出エネルギーを持つさまざまな高度なイメージングオプティクスを使用しています。そのチャンバーは、圧力のない環境とチャンバーと基板を冷却するための別のツールを利用しています。DAINIPPON SK-60A-BVPは可変的なプログラム可能なシャッター最適化を備えており、正確なエッチングパターンとスループットの向上を可能にします。また、接触および非接触穴パターン、コーナーリソグラフィー、露光補正など、さまざまな機能を生成することができます。このアセットには、高度なホットスポット検出モデルも搭載されており、フォトレジストの欠陥領域を検出することができ、歩留まりの向上と欠陥の減少を可能にします。さらに、複数露光工程の精度を向上させる高度なサーボ制御システムを搭載し、複雑な形状を実現しています。SK-60A-BVPは、直感的なGUIと使いやすいソフトウェアを備えた非常にユーザーフレンドリーなユニットです。その組み込みの安全機能は、人員と機器の保護を確保するのに役立ちます。半導体、医療機器、プリント基板、MEMS技術など、さまざまな産業に最適なソリューションです。高速、精度、精度が高いため、大量のアプリケーションに最適です。