中古 DNS / DAINIPPON SK-200W #9253733 を販売中
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ID: 9253733
ウェーハサイズ: 8"
Coater / Developer system, 8"
Coater and developer module
I/O Module with (4) carriers
Cool and hotplates
HH Plate: up to 350°C
(4) Photoresist pumps
(2) Developer lines.
DNS/DAINIPPON SK-200Wは、半導体ウェーハの製造におけるプロセス効率と均一性を向上させるために設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは主に半導体生産環境におけるフォトレジストフィルムのスピンコーティングおよびベーキングに使用されます。DNS SK-200Wは、強力な回転スプレーヘッドを使用して、フォトレジスト材料の薄い層で均等にウェーハをコーティングします。スピンコーティング後、ウェーハを高温赤外線オーブンに入れて硬化させます。オーブンはフィルムが塵でないことを保障するために特別な紫外(紫外)ランプのクリーニングステーションを含んでいます。ダイニッポンSK 200Wは、独自のセラミックヒーター技術を採用し、回転およびベーキングプロセス全体で均一な加熱と正確な温度制御を実現します。オーブンの温度較差は± 2°Cの許容の100°C-250°Cの間にあります。また、DNS/DAINIPPON SK 200Wには、回転およびベーキングプロセス中の汚染レベルを自動的に監視するコントロールユニットがあります。この機械はオペレータがいつ写真の抵抗のフィルムが取り替える必要があるか定めることを可能にします。DAINIPPON SK-200Wは使いやすく、メンテナンスも最小限に抑えられます。カラータッチスクリーンLCDディスプレイを搭載し、直感的なメニューと現在の動作状況を視覚的に表示します。SK 200Wは自動校正機能も備えており、オンサイト分析を容易にするさまざまなデータロギング機能を備えています。全体として、SK-200Wは半導体業界にとって強力で信頼性の高いフォトレジストツールです。それは効率を最大にし、プロセス全体で均一性を提供するために先端技術と設計されています。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスと自動キャリブレーションおよびコンタミネーション検出機能により、最適な結果を保証しながら生産を合理化できます。
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