中古 DNS / DAINIPPON SK-200W-BVPE #9165403 を販売中

ID: 9165403
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
(3) Coaters / (3) Developers system, 8" i-Line photo track 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-200W-BVPEフォトレジスト装置は、微細加工のための高性能、高精度のリソグラフィおよびエッチングツールです。特に、超小型スケールの集積回路(IC)やその他のデバイスの製造に使用するために設計されています。このシステムは、現代のICの製造にとって魅力的な選択肢となる多種多様な機能を備えています。DNS SK-200W-BVPEユニットは、高輝度UV照明投影機、自動スプレーモジュール、自動ウェットテーブルスプレーユニット、およびマイクロコントローラベースのコントロールパネルで構成されています。プロジェクションツールは、コンピュータによって生成されたUVパターンを基板に投影し、業界標準のフィーチャーサイズで正確なデバイスパターンを可能にします。スプレーモジュールはコンピュータ制御され、ノズルサイズとスプレー圧力の選択を提供し、さまざまな露出層の厚さを作成する柔軟性を与えます。ウェットテーブルスプレーユニットは、モノマーやその他の化学物質を正確に制御して、異なるフォトレジスト層を作成することができます。また、ダイニッポンSK-200W-BVPEは、UV露出時間、圧力レベル、スプレーレート、およびユーザーが事前に定義した露出面積サイズを提供する、最先端のマイクロコントローラ資産を備えています。これにより、デバイスの正確なパターニングが可能になり、リードタイムが短縮され、歩留まりが向上します。このモデルはまた、さまざまなレイヤーに調整可能なフォーカス設定を提供し、滑らかなエッジを確保するための高度なアンチエイリアスアルゴリズムを備えています。SK-200W-BVPEはあらゆる温度範囲および湿度レベルで動作可能であり、さまざまな製造環境に適しています。さらに、高度な温度制御装置を備えており、昇華率の向上、歩留まりの改善、スループットの向上を可能にします。さらに、システムは迅速な応答時間を提供し、より速いサイクルとより低いセットアップ時間を可能にします。全体として、DNS/DAINIPPON SK-200W-BVPEユニットは非常に強力なフォトレジストマシンで、最新のICやその他のデバイスを極小スケールで製造するための高精度のリソグラフィおよびエッチング機能を提供します。ユーザー定義のUV露出時間から調整可能なフォーカスレベル、高度なアンチエイリアスアルゴリズムまで、あらゆるICメーカーのニーズに対応するさまざまな機能を提供します。これにより、最新のIC製造プロセスにとって魅力的な選択肢となります。
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