中古 DNS / DAINIPPON SK-200W-AVP #293821343 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP Photoresist Equipmentは、半導体製造に使用されるカッティングエッジフォトレジスト技術です。このフォトレジストシステムは、200nmを超える解像度の画像を堆積することができます。露出フィールドサイズは200 x 200mm2で、カスタマイズ可能なモジュラープラットフォームを備えており、さまざまな生産要件を満たしています。この機械は、外部タンクとポンプを備えた供給ユニット、スプレーヤー付きフォトレジストコータユニット、スピンステーションユニットで構成されています。UV照明源は、画像生成にハイエンドのLEDを使用しています。レチクルマスクを使用した特殊光学系を使用して、基板表面にパターンフィーチャーを形成することができます。レジストは、LEDソースからこのパターン化された光にさらされ、パターンが基板上に形成されます。DNS SK-200W-AVPフォトレジストツールは、0。2micronから10micronまでの厚さの均一なレジスト成膜を提供します。また、3万分の使用時間でメンテナンスフリーなデザインを採用しています。Micro Advanced Pulsed Background Light （MAPBL）と呼ばれる機能を使用して、パターン作成時の精度と解像度を向上させます。この機能は、1点源から放出される低い背景光を使用します。このMAPBLは、近接効果を最小限に抑え、広範囲の構造にわたって高い解像度をもたらします。このモデルはまた、基板のサイズと形状に応じてスプレー速度を監視および調整するための高度なフロー制御ソフトウェアを備えています。ダイニッポンSK-200W-AVPフォトレジスト装置は、自動パージおよびスプレー洗浄プログラムにより、フォトレジストのクリーンで正確な除去と沈着を保証します。また、液面警報や漏れ検知器などの高度な安全機能を搭載し、ユーザーや環境を保護します。このユニットは、トレーサビリティとより良い製品品質のための高度な分析とリアルタイム診断でさらにサポートされています。このような高度な機能を備えたSK-200W-AVPフォトレジストマシンは、半導体製造のための信頼性と効率の高い機器です。