中古 DNS / DAINIPPON SK-200 #9256669 を販売中

DNS/DAINIPPON SK-200フォトレジスト装置は、フォトマスクおよびウェハ製造市場向けに設計された高性能イメージングシステムです。中和された純粋な幾何学的ビーム配送機とフォトレジストコーティングの蒸着方法を組み合わせた2段階の画像転送ユニットです。DNS SK-200の画像配信ツールは、マスクパターンの元の幾何学的形状をすぐに歪むことなくウェーハに届けるために中和された強烈な紫外線ビームを使用しています。また、マスクパターンサイズにかかわらず、画質を均一にするために、フィールド内およびフィールド間の制御方法を採用しています。蒸着方式により、露出過多や露出不足のないウェーハ表面にフォトレジストを均一にコーティングできます。複雑なパターン設計でも、ウェーハ表面全体に一貫したフォトレジストコーティングを実現します。フォトレジストコーティングされたウェーハは、高輝度のUVレーザービームにさらされ、ウェーハ全体に均一な露出深度が得られます。DAINIPPON SK-200は、最高品質の画像に対してサブミクロンパターンの精密な解像度を実現することができ、マルチレイヤーやフォトマスクを含むすべての基板に適しています。ウエハサイズは2「から12」までの範囲があり、実験室から生産の設定まで様々な環境で使用されるように設計されています。SK-200は、フォトマスクとウェーハ加工の優れたイメージングモデルです。フォトレジストコーティングのための蒸着法と中和ビーム配送の組み合わせにより、画質の均一化と正確な解像度を保証します。ラボおよび生産アプリケーションに適しており、自動化を容易にし、スループットを最大化する機能を備えています。