中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9373065 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQは、リソグラフィーパターニング用に設計されたフォトレジスト機器です。157nmのDUV（深紫外線）レーザーで構成されるフォトマスク用のフルフィールドアライメントシステムで、複数のレベルの誘電層と導電層をパターン化することができます。ステッピングモーター技術を使用して、重要なアライメントと露出の高精度と精度を実現します。このユニットは、高度なレーザースキャン機、露光フォーカスサーボ制御ツール、真空チャック、大型解像度フォトマスクなどの優れた品質と高度な機能を提供します。この資産は、石英/ガラス、銀、酸化物、ITO層などの様々なパターンを生成することができます。短い波長157nm DUV光源を使用して、フォトマスクをウェーハに直接露出させます。この短い波長は、より複雑なマスクパターンを生成するための高分解能基板を提供します。このモデルは、露光中にフォトマスクを保持する真空チャックを備えています。ステッピングモーター技術を使用して、チャック上のフォトマスクを正確に整列させ、露出に合わせて正確に配置します。この技術は、各ウェーハに複数のレベルのパターンを正確に配置できるようにし、生産環境で生産されるパターンに匹敵するリソグラフィーパターンを作成するのに役立ちます。この装置はまた、優れた画像忠実度と再現性を提供します。これは、洗練された露出制御システムとフォーカスサーボを使用して、複数の露出にわたって均一で反復可能であることを保証することによって達成されます。DNS SD W80A AVQは信頼性の高い強力なフォトレジストユニットで、優れた精度と精度を提供し、忠実度と再現性の高い複数のレベルのリソグラフィーパターンを作成します。半導体パターニングや高度なRSFVリソグラフィの高度なリソグラフィ用途に最適です。