中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9278103 を販売中

DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ
ID: 9278103
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Polyimide developer system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQフォトレジスト装置は、さまざまな種類の薄膜コーティングをさまざまな材料に加工するために使用される高度にインテリジェントでコンピューター制御された機械です。薄膜抵抗、半導体トランジスタ、さらには高度な有機フォトレジストなど、さまざまな非均一コーティングが可能です。このシステムは、精密で自動化された制御ユニットを使用して、コーティングを基板の表面に正確にエッチングし、全体に均一な厚さをもたらします。DNS SD W80A AVQは、事前にプログラムされたコーティングプロセスを正確に制御できるWindowsベースのソフトウェアプログラムによって駆動されます。これには、コーティングの品質を測定および確認するためのインタラクティブグラフ、すべてのパラメータとジョブを追跡するためのデータベース、高解像度処理を実現する機能など、いくつかの機能が含まれています。この機械には、コーティングを正確に制御するための光学測定アセットを備えた高度なコーティングツールが装備されています。このモデルは、ビジョン機器、レーザダイオード、光フィルター、およびデジタルイメージングで構成されています。圧電素子を使用して、膜厚を正確に測定します。このシステムはまた、ユーザーがコーティングプロセスをプログラムすることを可能にし、ジョブのより大きな制御のためのいくつかの可視化ツールを提供します。ダイニッポンSDW-80A-AVQには、基板上のコーティングの均一性を向上させるために設計された、高圧ガスアシスト抵抗コーティングユニットも含まれています。本機は、ガス駆動インジェクタを使用して、フォトレジストの薄いアタッチ層を基板に適用します。赤外線センサは、コーティングの厚さを監視および制御するために利用可能です。さらに、このツールにはプラズマクリーニングアセットが含まれています。このモデルは、低圧プラズマを使用して、フォトレジストの適用前に表面をきれいにします。これにより、コーティング処理の前に基板表面の汚染が除去されます。同じプラズマ装置が非常に効果的な後処理のために使用されます。SD-W80A-AVQphotoresistシステムは高度で正確な機械で、さまざまな表面で信頼性の高い均一なコーティングを製造することができます。自動化された制御機能、ユーザープログラマブルなソフトウェア、および精密イメージングシステムを組み合わせることで、薄膜コーティングの製造に最適です。ガスアシスト抵抗コーティングユニットと組み合わせた高精度の測定により、信頼性と高品質の結果が保証されます。
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