中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9227389 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQは、半導体製造業界の高度なリソグラフィープロセス用に設計された特殊フォトレジスト装置です。このシステムは、VLSI （Very-Large-Scale-Integration）チップの処理でより高い収率を可能にする、フォトレジストの精密露光を提供することができます。このユニットは、露出ユニットと露出ユニット・コントローラという2つのコンポーネントで構成されています。露光ユニットはレーザーダイオードアレイで構成されており、均一な単色ビームの光をウェーハに放出することができます。この光は光学変調器によって変調され、ユーザーによって制御されてビームがより高解像度のイメージングのために形成されます。また、アップダウンテーブル、計測干渉計、フォーカシングレンズも付属しています。Exposure Unit Controllerは、オペレータインターフェースパネルを使用してExposure Unitを制御します。また、Exposure Unitのパラメータを管理するための独立したプロセッサを備えた組み込みマイクロコンピュータも含まれています。DNS SD W80A AVQマシンは、フォトレジストイメージングプロセスの精度と再現性を高めるためのいくつかの高度な機能を備えています。フォーカス検出、エッジパターン認識アルゴリズム、ノイズ低減アルゴリズムなど、強化された画像処理機能のためのさまざまな画像処理ツールアルゴリズムが含まれています。さらに、フォトレジストのパフォーマンスを最適化するために、さまざまなカスタムフィルターとマスクをアセットで使用して露出パターンを洗練することができます。このモデルはオートフォーカス機能も備えており、最も鮮明な画像解像度を得ることができます。この機能により、スキャン操作中の露出設定を迅速かつ正確に修正し、解像度をさらに向上させることができます。さらに、装置は高度な熱安定性技術で設計されており、露光中にレーザダイオードアレイが温度に大きな変化を与えないようにしています。最後に、DAINIPPON SDW-80A-AVQは、合計8種類のパラメトリック設定を備えた幅広いプロセス制御オプションを備えています。これにより、ユーザーはリソグラフィープロセスの多くの側面を柔軟に制御することができ、このシステムで幅広い材料とプロセスを実行することができます。全体として、DNS SDW-80A-AVQは半導体製造プロセス向けに設計された高度なフォトレジストユニットです。優れたイメージング精度と解像度、および最適なプロセス制御のための高度な機能を提供します。高解像度イメージングのためのビームパターンの形状、強化された画像処理アルゴリズム、および幅広いプロセス制御設定が可能なため、フォトレジストの精密イメージングをお探しの方に最適なマシンです。