中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9227388 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQフォトレジストシステムは、クリスタルウェーハなどの基板にフォトレジスト素材を高精度に露光するように設計されています。強力なUVAソースを搭載し、イメージングとフォーカスのためのハイスペックな光学系と組み合わされています。直径8インチのバイナリテレセントリック光学は、異常を排除するように設計されており、広い領域でも完璧な結果を保証します。UVAソースは640nmの広いバンドパスとピーク強度を持ち、最大12umのフォトレジスト線幅を生成するのに適しています。DNS SD W80A AVQは、最大250種類のパターンをスキャンして保存できる大規模なステージも備えています。様々なパターンで多数の異なる基板を高速に露出させることができます。また、高精度な露光条件を確保するための高度なフィードバック制御システムを搭載したSDW-80A-AVQです。基板速度や歪んだ基板を検出することができ、フォトレジストの傷を防ぎ、解像度を向上させるための迅速なフィードバック補正を可能にします。さらに、このシステムは、水蒸気の影響を低減するために統合されたドライガスエンクロージャを備えています。排気規制の強度は露出条件に応じて調整可能で、最適な動作が可能です。DNS SD-W80A-AVQには広い温度範囲があり、静的な蓄積を排除するためのホットフィルター付きエアブロワーが含まれています。全体として、DNS/DAINIPPON SD W80A AVQフォトレジストシステムは、強力なUVAソースと高精度オプティクスを備え、高解像度で複雑なパターンを実現する先進的な機器です。多種多様な基板上に複雑なパターンのフォトレジスト材料を製造するのに最適です。その精密制御システムと統合されたドライガスエンクロージャは、広い領域でも完璧な結果を得ることができます。