中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293760414 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVPは、高解像度フォトレジストのパターン処理が可能なフォトレジスト機器です。露出、露出後ベーク（PEB）、露出後ベーク（PEC）の適用を含む多機能システムで、パターンを作成または改良します。DNS SDW-80A-AVPは、パターニングプロセスを例外的に制御できる汎用性の高いフォトレジストユニットです。高い反復率と高いビーム出力を持つソリッドステートレーザーを採用し、高精度かつ再現性の高い高解像度パターニングが可能です。また、高性能で低電圧の露出モニタを搭載しており、正確な露出制御を実現し、ポスト露出ベーク（PEC）プロセスを適用するためのプログラマブルコントローラを備えています。フォトレジスト材料や基板の幅広い取り扱いが可能です。使用可能なプロセスガスミックスは、露出プロセス中の温度と圧力を制御するために調整することができ、幅広いレジストタイプ、基板、およびフィーチャーサイズを扱うことができます。このアセットには、露光プロセス中に敏感なレジスト材料を効率的に熱管理するための冷却ユニットも内蔵されています。DAINIPPON SD W80A AVPは、投与量を高度に制御し、正確な露出制御を可能にします。これにより、非常に細かい解像度で小さなフォトレジスト線やその他の形状を作成することができます。露出モニターは、低用量でも正確な線量制御を可能にし、PECプロセスの統合により、効率的で高収量パターニング性能を実現します。このモデルの操作は簡単で直感的であるため、プロトタイピング作業や生産実行に最適です。内蔵のLCDディスプレイは、レーザーとガスの混合パラメータ、基板のサイズと向き、露出前と露出後の両方のプロセスの露出時間など、露出プロセス設定の視覚的なフィードバックを可能にします。DNS/DAINIPPON SD W80A AVPは、堅牢で費用対効果の高いフォトレジスト機器であり、最も厳しい生産要件において優れたパターニング性能と歩留まりを保証します。その汎用性の高い機能、正確な制御、信頼性の高い操作は、あらゆるフォトレジストパターニングアプリケーションに最適です。