中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293705458 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVPは、ウェーハ加工用に設計された高速フォトレジストコーティング装置です。フォトレジストは、厚さ0.1µm 1層で最大3mm、フォトレジスト2層で最大4。0mmのコーティングが可能です。半導体デバイス製造、センサ、MEMSデバイスなど幅広い用途に適しています。機械はモジュラー機械フレーム、フォトレジストディスペンサー、高精度ノズル、多軸サーボ制御ターンテーブル、制御システム、ウェーハホルダーで構成されています。メカニカルフレームは、広い領域にわたって高い精度を保証し、ターンテーブルはウェーハホルダーを移動させ、あらゆる向きで正確なコーティング動作を可能にします。さらに、制御ツールは、様々な解像度を通じて正確で反復可能な多軸運動を提供し、正確なコーティング制御を可能にします。フォトレジストディスペンサーは、チェーンと空気圧アセットに基づいて動作し、複数のフォトレジストを同時にノズルに注入して多層化を可能にすることができます。これは、無駄を最小限に抑えながらコーティング工程の速度を向上させるのに役立ちます。また、ディスペンサーには最大8つのフォトレジスト缶が収納されており、アプリケーション間の迅速かつ簡単な変更が可能です。精密ノズルは、ウェーハ全体で一貫したカバレッジ、最小限の欠陥、優れた層均一性を提供するように設計されています。また、低乱流を確保するように設計されており、特徴欠陥や光音響の放出を防ぐのに役立ちます。ノズルは非常に調整可能で、パターニングやフォトレジスト粘度など、さまざまなコーティングパラメータを設定するために使用できます。DNS SDW-80A-AVPは、幅広いウェハ製造用途に適した信頼性の高い効率的なフォトレジストコーティングモデルです。この装置は優れた性能を提供し、短時間で再現性のある高品質な結果を提供することができます。高速、高精度、汎用性を備えたこのシステムは、あらゆるウェーハ処理ニーズに最適です。