中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AV #293643053 を販売中

DNS / DAINIPPON SD-W80A-AV
ID: 293643053
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Spin developer system, 8" 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVは、集積回路の生産における高効率と清浄度を目的とした先進的なフォトレジスト機器です。効率的かつ精密な制御により、高い収率でミクロンスケールまで複雑な構造物を生産することができます。高精度のスキャン楕円計を搭載し、発生角度を指定して光度を測定し、露光強度を正確に制御することができます。エリプソメーターは、光の強度、波長、白色光子スケール、ソート、ビーム形状、偏光などの幅広い設定を提供し、複雑な設計のニーズに応じて正確な露出を可能にします。このユニットには乾燥オーブンも装備されており、露出したウェーハをドライプレス処理のために望ましい温度と湿度にするようにプログラムすることができます。これにより、フォトレジストのより均一な沈着が保証され、気泡や傷を避けます。汚染を最小限に抑えるために、機械にはクローズドループのマイクロ流量制御ツールが装備されています。これは、チャンバーやフォトレジストに侵入する有害な粒子を避けるのに役立ち、選択的な電気蒸着にも使用できます。アセットのソフトウェアには、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えたライトスキャンモジュールを含む画像解析およびシミュレーション機能が含まれています。これにより、マスクの検証と修正がこれまで以上に簡単かつ迅速になります。このモデルはまた、他のシステムとリンクする強力なデータ通信インターフェースを備えており、フォトレジスト機器とホストコンピュータ間の高速かつ簡単なデータ転送を可能にします。要するに、DNS SD-W80A-AVは、正確な制御と監視機能を備えた多価フォトレジストシステムです。効率的な操作と強力なツールにより、現代の集積回路生産に最適です。
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