中古 DNS / DAINIPPON SD-W80A-A #9274821 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W80A-Aは、リソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。高精度に設計されており、高解像度の3Dコンポーネントを作成することができます。このシステムは多くのレジストタイプと互換性があり、さまざまなアプリケーションに適した機能が多数付属しています。レンズグループとディオプトリックマシンで構成された高解像度の光学ユニットを備えており、フォトレジストを基板上に正確にターゲティングし、イメージングすることができます。このツールはまた、フォトレジストの流れを調節するためにマイクロバルブを使用し、デジタルサーボ制御アセットは露出中の基板の正確な変位を保証します。さらに、基板の位置、レンズグループの動きも、ラインスキャンCCDカメラとXYステージによって監視・制御されます。DNS SD-W80A-Aは、カートリッジ、DIAS、およびCDM技術などのさまざまなフォトレジスト供給システムを使用できます。また、基板温度とフォトレジストの量を制御する独自の「Close-Loop」モデルも搭載しています。これは、フォトレジストプロセス全体の露光量を制御するのに役立ち、一貫した正確な結果を保証します。フォトレジスト装置には、レーザー露出機構が統合されています。これにより、線や穴などの正確なパターン構造を生成することができ、全体の解像度を最適化するのにも役立ちます。さらに、マスクレスのダイレクトライティングが可能で、より大きなレジスト領域のウェーハ投影にも使用できます。DAINIPPON SDW-80A-Aは、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスも提供しています。これにより、プロセスを簡単に制御し、実験を素早くセットアップし、ウエハビューウィンドウでパラメータを変更することができます。これは、プロセスの生産性と精度を最大化するのに役立ちます。全体として、SD-W80A-Aは、リソグラフィープロセスを最適化するための多くの機能を備えた高度なフォトレジストユニットです。この機械は堅牢で高精度なため、さまざまなリソグラフィ用途に最適です。