中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A #9068908 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60Aは、リソグラフィープロセスを最適化するための高精度、高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、独自の革新的な自動レイヤーリマッピング技術と、最先端の自動ウェーハアライメントユニットを使用しています。これにより、非常に高いプロセス精度を維持しながら、最も複雑なフォトリソグラフィ構造に適応することができます。このツール自体は、マスターCDM-4000A露出制御ユニット、DVT-4050レンズユニット、LWV-6050レンズアライメントユニット、XSM-6050リニアステッピングモータ、DLT-6500露出制御ユニットなどの一連のコンポーネントで構成されています。また、高解像度カメラで構成された先進的な露光前イメージングモデルとCCDを使用しています。各コンポーネントは、統合されたフォトレジスト機器において重要な役割を果たします。マスターCDM-4000Aは、高度なフォトレジストコントロールユニットに、パターニングアライメント、レイヤー選択、および最適化の機能を提供します。DVT-4050は、露出とステッピングモーターの動きを制御するために特別に設計されています。また、アライメントの自動補正、フォーカシング、露出率も含まれています。LWV-6050レンズアライメントシステムは、露出ウェーハの最適なアライメントを提供します。XSM-6050モータは、ウェーハを最低ピッチ8ミクロンでスキャンし、露出プロセスを加速するように調整することができます。DLT-6500はモノクロまたはポリクロムコーティング成膜を行います。DNS SD-W60Aユニットが提供するエンジニアリングソリューションは、幅広いプロトタイプおよび量産フォトリソグラフィ部品の生産を可能にします。その使用は、精密フラットパネルディスプレイ、マイクロエレクトロメカニカルシステム、有機発光ダイオードディスプレイ、ホログラフィックデータストレージ要素の製造に特に有益です。また、超薄型ドリルビットやカッティングエッジなどの微細加工部品の製造にも使用されています。DAINIPPON SD-W60Aツールは、従来のフォトリソグラフィープロセスよりも多くの利点を提供します。その速度と、1つのグラフィカルユーザーインターフェイスを介して資産全体を制御できるという事実は、ワークフローの監視を改善し、自動化されたレイヤーリマッピング機能は、パターニング精度と再現性を向上させます。さらに、このモデルは、UVフォトレジストやフォトポリマーなど、一般的に使用されるいくつかの露光材料と互換性があります。全体的SD-W60A、要求の厳しいユーザーのためのハイエンドのフォトレジスト機器です。精度、スピード、最適化された加工ソリューションを組み合わせ、大量生産を効率化します。高度なアライメントおよびイメージング技術により、ワークフロー管理の向上、パターン精度と再現性の向上、露出時間の短縮が可能です。これは、アプリケーションの広い範囲での使用に適しており、フォトリソグラフィ作業のための優れたプラットフォームを提供します。