中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9275258 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPEは、最新の半導体加工の要求を満たすように設計された最先端のフォトレジスト機器です。ウェーハ表面に薄膜層を高精度にアライメント・露光することが可能で、複雑な集積回路やIC部品の製造が可能であり、高度な多層包装が可能です。DNS SD-W60A-AVPEは、高解像度の4ポケットヘッドアライメントユニットを備えており、大型ワークにおけるサブミクロン連続アライメント精度を実現します。4ポケットヘッドマシンは、トップダウンとサイドオンの両方のパターンの正確な露出を可能にします。このツールは、複雑なパターンを処理する場合でも、高い精度と再現性を保証するoptoメカニズムを内蔵しています。DAINIPPON SD-W60A-AVPEは、他のアライメントシステムよりも優れた性能を提供するフルフィールドオブビューのアライメントカメラとして知られているものを利用しています。このカメラを使用すると、サイズや素材が異なる場合でも、ウェーハ上のパターン化されたレイヤーを完全に揃えることができます。さらに、このモデルは環境に優しく効率的な水冷装置を備えており、露出プロセス全体でICウェーハが安定した温度範囲にとどまることを保証します。SD-W60A-AVPEの主な特徴は、高精度の自動フォトレジストシステム（APRS）です。APRSには、プログラム可能な露光ツールと革新的な蒸着ツールという2つの統合部品が含まれています。プログラム可能な露出ツールにより、ウェーハ表面に複雑なパターンを素早く正確に作成でき、手動での配置や位置決めが不要になります。成膜ツールは、ウェーハ表面に単層フォトレジストを均一に成膜し、特徴の選択的コーティングや薄膜層などの用途を可能にします。さらに、DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPEは、ノンエポキシ素材をはじめとするさまざまなフォトレジスト素材をサポートしており、用途に応じて最適な素材を柔軟に選択することができます。また、露出間の残留物を除去するクリーニングマシンを内蔵し、フォトレジスト層の厚さを正確に制御します。この制御は、正確なプロセス制御と再現性が必要な場合に特に重要です。全体として、DNS SD-W60A-AVPEは革新的なフォトレジストツールであり、ウェーハ表面の薄膜層の高精度なアライメントと露出を可能にします。このアセットの優れた精度と再現性により、チップとパッケージの設計と製造の両方に適しています。自動化されたフォトレジストモデル、フルフィールドオブビューのアライメントカメラ、および冷却装置は、あらゆるサイクルで印象的なレベルの精度を保証します。そのため、半導体製造用途において高精度フォトレジスト加工が必要な方には、ダイニッポンSD-W60A-AVPEが最適です。