中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9251328 を販売中

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE
ID: 9251328
ウェーハサイズ: 6"
Coater / Developer systems, 6".
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPEは、高精度で高解像度のリソグラフィ用途向けに設計された、高度で高性能なフォトレジスト装置です。このシステムには、独自の強力な画像処理および解析ユニットが含まれており、プロセス制御を最適化しながら非常に細かい機能を検出して解決する機能を提供します。DNS SD-W60A-AVPEは、一貫して優れたエッチング品質と再現性を備えた信頼性の高い高忠実度ウェーハイメージを提供することができます。最大性能を確保するために、超高真空環境で動作しながら、優れた位置決め精度と再現性を提供するように設計された新しい高度なウェーハステージを備えています。DAINIPPON SD-W60A-AVPE独自のイメージング技術は、電子ビーム合成と精密画像アライメントを組み合わせた粒子ビーム光学アプローチに基づいています。この独自技術を活用することで、画期的な解像度と精度の結果を得ることができます。また、効率的なカセットローディングモデルを搭載しており、オペレータの介入を最小限に抑えた高速動作を実現しています。SD-W60A-AVPEは、複数の角度基板露出を提供することも可能で、プロセスの柔軟性とスループットの向上を可能にします。さらに、マルチアングルアライメント、オートフォーカス、オートフォーカスなど、イメージング精度をさらに向上させるさまざまな開発技術をサポートしています。DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPEは非常に信頼性の高いフォトレジストシステムで、稼働率は99%です。このレベルの信頼性により、このユニットは世界有数の半導体メーカーの主要なツールとなりました。独自の画像処理技術により、高速で優れた結果を出すことができます。また、特定の状況に合わせて、特定のニーズに合わせたソリューションを提供することもできます。そのため、DNS SD-W60A-AVPEは高精度のリソグラフィ用途に最適であり、業界のベンチマークとなっています。
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