中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE #9251327 を販売中

DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVPE
ID: 9251327
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
Coater / Developer systems, 6" 1993 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPEは、最新の半導体製造のために設計されたさまざまな高度な機能を備えたフォトレジスト機器です。最先端の光学系、高度なソフトウェア、一貫した材料供給ユニットを組み合わせることで、高効率で高精度なパターニングを実現します。フォトレジストマシンの光学ツールは、長いコヒーレンス長さのテンプレートソース、Zemax最適化された光学系、およびデュアルセンサーオプティクスを使用して、最適化された二重露光ヘッドで構成されています。これにより、低ノイズのイメージング、高いアライメント精度、優れた解像度と焦点深度が保証されます。また、10nmから2000nmまで、さまざまな層の厚さで作業することができます。DNS SD-W60A-AVPEのソフトウェア機能は、独自のフォーカス制御、アライメントアセット、イメージプロセッサの制御などの機能を提供します。また、スキャン時間、スキャン速度、フォーカスレベルなどの露出パラメータを調整してパターニングを最適化するだけでなく、用量の微調整を可能にします。DAINIPPON SD-W60A-AVPEの一体型マテリアルデリバリーモデルにより、複数のソース貯蔵庫と素早いマテリアルデリバリーが可能です。そのInfracon技術は、露出ヘッドに薬物前駆体を提供するために必要な時間を劇的に削減します。この装置はまた、危険なファイルを安全に処理するための汚染制御漏斗設計を備えています。SD-W60A-AVPEは、異なるサイズとパターンを持つウェーハでも、高品質で正確なパターンを生成することができる信頼性の高いフォトレジストシステムを提供します。その高度な機能と機能は、最新の半導体製造にとって非常に貴重な財産であり、高品質のデバイスを製造するための正確なパターニングと効率的なプロセスを提供します。
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