中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235505 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPは、半導体生産に使用されるように設計されたフォトレジスト機器です。これは、処理をより速く、より簡単にするように設計された自動開発システムです。このユニットはフルレートのバッチプロセス操作が可能で、標準サイクルとカスタムサイクルの両方が可能です。メインマシンとウェーハホルダーの2つの主要部品で構成されています。主なツールには、フォトレジスト前処理室、開発室、すすぎ室、アセットインターフェイスおよびコントロールパネル、PCコントローラ、乾燥モデル、自動化学管理装置、設計ソフトウェアなどのオプションのアップグレードが含まれます。チャンバーには、フォトレジストスプレーヤーとポンプが装備されており、フォトレジスト液をスプレーして均等に分配するために使用されます。開発チャンバーは、フォトレジストの化学処理が行われる場所です。洗浄チャンバーは、残留フォトレジストやその他の不要な物質を減らすために使用されます。システムインターフェイスとコントロールパネルは、プロセスパラメータを調整し、すべてのプロセスを自動モードにする機能をユーザーに提供します。PCコントローラは、プロセス制御、スケジューリング、分析を提供するために他のコンポーネントと一緒に動作するコンピュータです。ウェーハホルダーは、ユーザーがフォトレジスト液体をウェーハ上の所望のパターンに正確に合わせることができるコンポーネントです。精密ホルダーヘッドとウェーハステージで構成されています。ホルダーヘッドにはセンサーとアクチュエータが装備されており、複数のプロセスを実行するためにウェーハアライメントを迅速かつ正確に調整できます。さらに、ウェーハステージには平面レベラーと温度制御装置が装備されています。DNS SD-W60A-AVPフォトレジストユニットは、信頼性の高い自動プロセスを必要とし、PCから機械を制御する利便性を望むユーザーに最適です。ウェーハホルダーの高精度と調整可能なパラメータにより、あらゆるバッチで高い歩留まり結果を達成するための優れた選択肢です。