中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235504 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPはフォトレジストプロセス装置で、光機械式デバイスを正確に制御することができます。複数のフォトマスキングを備えた高度な成膜チャンバーを備えており、非常に正確な印刷開発と基板へのパターンの正確な転送を可能にします。このシステムには、液体用と固体フォトレジスト用の2つの独立した蒸着チャンバーがあります。これは、チャンバー間の物質の相互汚染なしに露出条件を迅速に変更することができるなど、多くの利点を提供します。フォトレジストプロセスユニットには、高解像度顕微鏡を搭載しており、ユーザーはさまざまなプロセスパラメータを正確に監視し、必要に応じて沈着パラメータを調整することができます。さらに、このマシンには、高度なデジタルコントローラとインターフェースが含まれており、簡単で正確な操作が可能で、パターンコントロールの効率が向上します。統合された光学顕微鏡は、0。25ミクロンの解像度で、濡れたプロセスと乾燥プロセスの両方に優れたイメージングを提供します。プロセス監視機能をリアルタイムで提供し、プロセスパラメータの迅速な測定と制御を可能にします。内蔵の露出板は、高い透過性と反射特性を持つ石英ガラスで作られており、光の強度と方向を正確に制御する機能を提供します。また、さまざまなマスクサイズや基板厚に調整するための幅広い位置を備えています。このツールには自動フィルムアプリケーターが装備されており、フォトレジストフィルムを基板に選択的かつ正確に適用するようにプログラムすることができます。これらのフィルムは、様々な微細ラインや、電気的にニュートラルなデバイスのプロセス制御のためのスペースパターンなど、多数の光機械的特徴を作成するために使用することができます。DNS SD-W60A-AVPは幅広い制御機能を備えており、各ジョブに最適なプロセス設定とパラメータを簡単に選択できます。ユーザーは、将来の使用のために自分の好きな設定を保存することもでき、より効率的な生産に貢献します。ダイニッポンSDW-60A-AVPフォトレジストアセットは、精密なオプトメカニカルデバイスを作成するための高度で汎用性の高いモデルです。