中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #293768584 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPフォトレジスト装置は、自動化と柔軟性のために構築された多機能で使いやすいシステムです。このユニットには、マルチユーザー生産環境での半導体ウェーハのコーティング、開発、イメージング用のコンポーネントが組み込まれています。自動化されたハンドリングロボットは、基板をウェハストレージチャンバーからコーティング、開発、またはイメージングステーションに移動することができます。機械は温度、圧力、重ね合わせ、数値開口、焦点および露出対称性のようなさまざまな変数上の完全なプロセス制御が可能です。このツールには、高精度と再現性を保証する高度なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントが装備されています。このハードウェアには、コーティングステーション、開発ステーション、イメージングステーション、走査型電子顕微鏡、ターボポンプ、ガスブレンダーアセンブリ、排ガススクラバーが含まれています。ソフトウェアコンポーネントは、解像度、パターン転送、ウェハ表面粗さなどのフォトレジストパラメータを分析するために特別に設計されています。DNS SD-W60A-AVPで使用される高出力レーザーリソグラフィ資産は、高解像度の特性を持ち、基板の非常に詳細な3Dイメージングを可能にします。このモデルは、統合されたイメージング装置を使用して、最大30ナノメートルの分解能を持つサンプルを検出します。光学システムは目的の基質に精密な焦点を合わせることを達成するために対物レンズおよびステッピングモーターを含んでいます。基板の厚みを反転させ、表面形状を決定し、サンプルのエッジや欠陥を検出する機能を備えています。また、光とサンプルの特徴を操作できる高度な精密工学技術を備えています。この機械は基質熱エネルギーを精密に制御し、従ってより大きい区域およびより高い速度で高精度を提供します。さらに、このツールは高度な画像処理機能で構築されており、ユーザーはデータを迅速かつ正確に分析することができます。この機能は、スペクトルプロファイリング、マスキング、セグメンテーションなど、さまざまな操作を実行することができます。サンプル内のエッジ、コーナー、パターンを検出し、異常や欠陥を詳細にマッピングできます。全体として、大日本フォトレジストSDW-60A-AVPアセットは、さまざまなフォトレジスト用途向けに設計された信頼性の高い高効率モデルです。その先進的な機能と部品により、あらゆる半導体製造工場に適した設備となっています。このシステムは、詳細な分析と再現可能な結果を提供しながら、ウェーハ製造プロセスの生産性を高める能力を持っています。