中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #293760415 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVPは、優れた設計と高度な技術により、精密かつ高性能なリソグラフィを可能にするフォトレジスト機器です。このシステムは、小型で複雑なパターンを生成するのに役立つ高度なCO2レーザースキャニングワークヘッドを備えています。波長の大きさを小さくするように設計されており、さらに小さな特徴を生み出すことができます。パルスジェネレータの改良された設計により、正方形の波動パルスを生成します。これにより、パルス長とレーザービーム露光周波数の最大効率と安定性が保証されます。また、正確なレーザパターンライティングを保証するのに役立つインテリジェントパターンライターも含まれています。この機能により、フォトレジストマシンは、現在のプロセスに応じて自動的にレーザーパラメータを調整することができます。さらに、ウェーハにパターンを正確に書き込むのに役立ちます。それは正確に望ましいパターンを引くために干渉計と結合される特許を取られたレーザーのデッサンの技術を使用します。さらに、このツールには、ユーザー定義の露出時間を許可するシャッターが含まれています。この機能により、フォトレジスト層に複雑な3次元パターンを作成できます。シャッターを使用すると、ユーザーはレジストレイヤーに配信されるレーザーエネルギーを正確に制御することもできます。このアセットは、パターンの正確な印刷を可能にするために、タイトな登録精度を確保するための2段階のアライメントも提供します。また、過度の熱による故障を避けるために、モデルの温度を維持するのに役立つアクティブ冷却ファンが含まれています。全体的に、DNS SD-W60A-AVPは精密で高性能なリソグラフィを保証するのに役立つ様々な機能を備えた高度なフォトレジスト機器です。その改良された設計と最先端の技術は、正確なパターン書き込みを実行し、さらに小さなフィーチャーサイズのレーザービーム波長を低減するのに役立ちます。2段階のアライメントとすべての機能を備えており、高度なフォトリソグラフィープロセスに最適です。