中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVN #9148335 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVNは、ポリマーフィルムの加工と微細構造の生成を目的としたフォトレジスト装置です。このシステムは、フォトリソグラフィープロセスがフォトレジスト材料にパターンを転送するために設計され、基板表面に微細構造を作成するために使用されます。このユニットは、分配およびポリマー開発用のスピンコータモジュールを内蔵しており、50nmから1000 µmの厚さのフィルムを製造することができます。スピンコーターは、DNS SD-W60A-AVNの高速精密モーションメカニズムと組み合わせて動作し、パターンを基板に正確に転送します。このマシンは、露出と開発プロセスを正確に制御するために半自動メカニズムを使用しています。露出パラメータを選択して、パターン形成の速度、解像度、明瞭度を最適化できます。このツールには4軸モーションコントロールユニットが装備されており、細かい構造でも1 µmの最小クリティカル寸法を確保します。DAINIPPON SD-W60A-AVNは、フォトレジストコーティングに使用されるドライフィルムユニットで設計されています。このユニットは、保湿、乾燥、およびベーキングモジュールで構成されており、一貫した信頼性の高いコーティング結果を実現します。さらに、プロセスを監視し、高品質な結果を保証するための統合検査モデルも装備されています。この装置は、基板を適用および除去するための自動ローダーとアンローダーも提供します。基板の取り扱い時間を短縮することで、スループットを向上させることができます。安全面では、静電気損傷を防ぎ、安定したプロセスを確保するための帯電防止設計が含まれています。SD-W60A-AVNは、ポリマーフィルムのフォトマスクパターニングと製造に有効で信頼性の高いユニットです。高精度・高スループットで、半導体・フォトマスク業界で幅広く採用され、様々な微細構造を製造しています。