中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AV #9148341 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVフォトレジスト装置は、さまざまな基材をカバーする高精度ツールです。特に半導体ウェーハ、パターンマスク、フォトレジスト装置など、最も繊細な基板の薄化、整列、開発を目的に設計されています。基板の加工精度を最大限に高めるため、高性能レーザービームを採用しています。このユニットは、基板表面を正確にアライメントするための可動ステージも備えています。DNS SD-W60A-AV機は、最先端のフォトレジストツールで、レーザー光源は波長532nm、露光深度は最大30 μ mです。フィールドアライメントツールを備えており、基板のレーザーアライメントを簡単に設定して精度を向上させることができます。高度なアライナー・アセットにより、従来のアライナーよりも広範囲にわたって正確かつ正確にアライメントできます。低電圧イメージングモードも搭載しており、イメージングレンズの歪みを低減することで、イメージングの精度と速度を向上させます。ダイニッポンSD-W60A-AV装置は、高速真空チャックと高度な光干渉を備え、基板の完璧な加工を保証する高速かつ安全な処理のために設計されています。また、コーティング、ベーキング、UV露出、開発、エッチングなどの複数のプロセスを1サイクルで実行するようにプログラムすることもできます。これにより、フォトレジスト加工プロセスのスループットと精度を向上させることができます。また、基板上のフォトレジストの位置を事前に決定できる自動アライメントユニットや、欠陥や欠陥を効率的に検出できる基板監視機などの高度な機能も搭載しています。さらに、基板の条件に応じて露出パラメータを調整する自動検出ツールと、基板に基づいて露出パラメータを変更できる自動選択アセットも備えています。また、表面/フィルム測定ツール、UV照射装置、ケミカルエッチング装置、ベーキングツールなど、フォトレジストの開発に使用できる他のツールと完全に互換性があるように設計されています。この互換性により、SD-W60A-AN機器をフォトレジスト分野のさまざまなアプリケーションに使用できるようになります。SD-W60A-AVフォトレジストシステムは、医療、自動車、半導体などの幅広い産業向けに設計されています。それは高度な機能と他のフォトレジストツールとの互換性でユーザーの究極の正確さと精度を提供します。最先端の技術により、このフォトレジストユニットは、最も要求の厳しい要件を満たすことができます。