中古 DNS / DAINIPPON SD-W60A-AP #9018264 を販売中
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ID: 9018264
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1997
Developer, 6"
E-Flow
Sub system
Water tank
Chemical tank
Missing parts:
Monitor
Control panel
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-APは、超高レベルリソグラフィ用途向けに設計されたハイエンドイメージングプロセスに基づく完全自動フォトレジスト装置です。最先端の光学システムにより、パターンサイズは550ナノメートルと小さく、ウェハレベルのパッケージングとパッケージング基板の両方のニーズに柔軟に対応できます。自動化されたユニットは、ウェーハレベルのレジスト処理チャンバを備えており、手動でローディングまたはアンロードすることなく、フォトレジストをウェーハに正確に適用して除去することができます。この自動処理により、ヒューマンエラーの可能性がなくなり、生産効率が向上します。また、マルチプレクサ機能、ハイパワーレーザー、高度なオートフォーカスレンズなどの高度なハードウェアコンポーネントを備えており、最高の解像度と精度を保証します。マルチプレクサ機能により、複数のパターンを一度に露出させることで、ツールスループットを向上させることができます。高出力レーザーはパターンがより大きい区域に露出することができることを保障します。高度なオートフォーカスレンズは、露出パターンの精度とアライメントを特徴とする機能のためのデジタル読み出しを提供します。このアセットには、リアルタイムパターン認識、クローズドループ制御、パターンオーバーレイによる自律操作などの高度なオートメーション原則も組み込まれています。さらに、これらの要素はすべて品質管理および後処理技術と組み合わされ、生産サイクルの延長においても欠陥を最小限に抑えることができます。DNS SD-W60A-APは、あらゆるリソグラフィ用途の厳しい要件を満たすように設計されています。優れた性能、精度、信頼性を提供します。モデルは最高水準に維持され、最大の収量と品質の成果を保証します。優れた性能と高品質の出力により、フォトレジスト用途に最適です。
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