中古 DNS / DAINIPPON SD-80BW-AVP #9408271 を販売中

ID: 9408271
ヴィンテージ: 1996
Coater system 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVPは、非常に微細なパターン印刷アプリケーションの開発のために設計されたフォトレジスト機器です。これまでにないレベルの解像度、精度、速度を提供する信頼性の高い正確なシステムです。このユニットは、リソグラフィ、基板沈着、接触印刷などのプロセスに使用できる自動化ユニットです。DNS SD-80BW-AVPの主な構成要素は、0。15ミクロンの解像度でパターンの画像をキャプチャすることができる高度な焦点平面アレイ(FPA)を備えたビジョンモジュールです。このモジュールは、パターンのデジタル画像を光学的に分離されたレジストコーティングに変換することができます。この光学分解能は、断面解析器とアライメントマーキング機構を備えた分割フィールドのデュアルビームオプティカルマシンを使用することでさらに高められます。このユニットには、さまざまな露出パラメータを制御するのに役立つデジタルデータ取得および処理モジュールも装備されています。DAINIPPON SD-80BW-AVPは、パターンや露出パラメータの変化に即座に反応するように設計されています。それは与えられたパターンに従って露出変数を置くことを担当するprecalibrationモジュールと来ます。チップの位置決めとアライメントは、0。15ミクロンの高解像度を提供するユニークなアライメントとマーキングモジュールの助けを借りて行われます。リソグラフィープロセスは、耐久性があり、AlSiC、有機および無機フィルムを含むさまざまな高度な基板に使用することができます。このツールの特徴は、大面積の基板を駆動する機能と、マルチパターンのパターン露出の可能性です。このユニットは、光ファイバ露出モジュールを使用してサブミクロンの均一なレジストラインを生成することもできます。SD-80BW-AVPは、自動基板搬送資産を備えた高速ロールツーロール生産が可能であり、また、エラーを迅速に特定し、高い歩留まりを確保するために修正を行うパワー分析モデルを備えています。マスク、フィルター、液晶画面などのデバイスの生産に適しており、大量生産用に設計されています。DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVPは、優れた印刷解像度を提供する効率的で信頼性の高い正確なフォトレジスト機器です。様々な基板やプロセス用に設計されており、幅広い露光パラメータを備えた高品質のプリントを製造することができます。このユニットは、マルチパターン露出の大型基板の駆動だけでなく、自動生産にも適しています。このユニットは高精度で費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーであるため、さまざまな業界での使用に最適です。
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